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產(chǎn)品資料

Seiko Seiki STP-1003C 磁懸浮分子泵維修

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產(chǎn)品名稱: Seiko Seiki STP-1003C 磁懸浮分子泵維修
產(chǎn)品型號(hào): STP-1003 Stp-1003C
產(chǎn)品展商: EDWARDS
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簡(jiǎn)單介紹

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Seiko Seiki STP-1003C 磁懸浮分子泵維修  的詳細(xì)介紹
中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修SEIKO seiki STP-1003, Seiko Seiki STP-1003C Seiko STP1003 ,seiko STP1003

圖片中的Seiko Seiki STP-1003是愛(ài)德華公司,為甚高真空專門設(shè)計(jì)的三軸磁懸浮分子泵,

我司專業(yè)維修STP-1003

Seiko seiki STP 301  STP 451  STP 603  STP 1003 STP 301C  STP 451C STP 603C  STP 1003C

愛(ài)德華Ultra High Vacuum Range分子泵

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Seiko Seiki STP1003三軸磁懸浮分子泵,有人稱之為Edwards 1003,其中的STP不帶任何后綴的含義為:Ultra high vacuum Range,其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式

 英國(guó)愛(ài)德華真空對(duì)STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下:

Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.

A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.

   The pumps in red have 3 axis bearings.

These pumps usually require a lower backing pressure.

 

STP H301C  STP H451C STP H803C  STP H1303C  Edwards High Throughput Range分子泵

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Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵,有人稱之為Edwards STPH1303,其中的H的含義為:High Throughput Range,其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage

 英國(guó)愛(ài)德華真空對(duì)STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下:

Commonly used on 200mm Etch Machines.

The original High Throughput range.

They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.

All are 5 axis bearings.

 

Edwards STP A803C  STP A1303C STP A1603C  STP A2203C STP A2503C STP A3003C  STP A3503C

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Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵,有人稱之為Edwards STPA2203,其中的A的含義為:Advantage Range,其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced  High Throughput Holweck Stage

 英國(guó)愛(ài)德華真空對(duì)STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下:

Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.

Advanced rotor designs and materials:

Gives a higher performance from a similar sized pump.

The rotors have 3D geometry improving their performance.

The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.

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