意大利瓦里安: Varian-Agilent
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愛德華Ultra High Vacuum Range分子泵
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Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵,有人稱之為Edwards 1003,其中的STP不帶任何后綴的含義為:Ultra high vacuum Range,其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式
英國愛德華真空對STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下:
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
STP H301C STP H451CSTP H803C STP H1303C Edwards High Throughput Range分子泵
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Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵,有人稱之為Edwards STPH1303,其中的H的含義為:High Throughput Range,其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下:
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
Edwards STP A803C STP A1303C STP A1603C STP A2203C STP A2503C STP A3003C STP A3503C
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Edwards Seiko STP-A2203五軸磁懸浮分子泵,有人稱之為Edwards Seiko seiki STPA2203,seiko STPa2203 seiko stp-A2203其中的A的含義為:Advantage Range,其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下:
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
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