Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 簡介:
Pfeiffer RVC 300 可以控制真空腔室內部氣體的壓力在規(guī)定的范圍內,Pfeiffer RVC 300 , gas dosing system control unit, 自帶 LCD
Display 及操作按鍵,配合Pfeiffer EVR 116 或 RME 005A 調節(jié)閥 及 Pfeiffer Vacuum Gauge可以組合為一個完整的流量調整閉環(huán)系統(tǒng),
可以輕松實現(xiàn) 真空腔室壓力穩(wěn)定在規(guī)定的范圍。
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 訂貨號為 PF I00 792
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 的技術參數(shù)及機械尺寸如下:
Pfeiffer RVC 300 的控制原理如下圖:
在上圖中, 我們可以看到 Pfeiffer RVC 300- Pfeiffer gas dosing system control unit 可以直接連接 Pfeiffer Pressure Sensor 來做負反饋,
根據(jù)真空計讀出的壓力值來不斷調節(jié)閥門開關的大小 從而控制真空腔室的壓力穩(wěn)定在設定值。
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 可以連接的真空計有:
Pfeiffer APR 250/ Pfeiffer APR 260
Pfeiffer CMR361/ Pfeiffer CMR 271/ Pfeiffer CMR 272 /Pfeiffer CMR 273/ Pfeiffer CMR274/ CMR 275
Pfeiffer IKR 251
Pfeiffer PKR251
Pfeiffer TPR 280 等等
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 的操作面板圖片如下:
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 內部連接說明如下:
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 對應連接 調節(jié)閥 Pfeiffer EVR 116 圖片如下:
Pfeiffer Gas Dosing Valve---Pfeiffer RVC 300 配合 Pfeiffer EVR 116 可以調節(jié)的范圍如下:
Gas Flow min. Controllable : 5*10-6mbar*L/s
Gas Flow max. Controllable : 1.25*10+3mbar*L/s
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