圖片中的是BOC EDWARD STPA2203分子泵 同edwards stpA2203C, 中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修英國愛德華五軸磁懸浮分子泵
Edwards STPA2203C磁懸浮分子泵維修: BOC Edwards STPA2203C的規(guī)格即訂貨號如下：
Edwards STPA12203訂貨信息：
Edwards STPA2203C ISO250F Inlet YT4V0Z002
Edwards DN250CF Inlet YT4V0Z003
Edwards TMS ISO250F Inlet YT4V66001
Edwards TMS DN250CF Inlet YT4V66002
Accessories & Spares Order No.
10m TMS connection cable kit PT351V001
15m TMS connection cable kit PT351V002
5m TMS connection cable kit PT351V000
Power Cable 10M PT35Y0A00
Power Cable 5m B75030020
SCU-1400 Control unit YT72Z0Z00
STP straight connection cable, 10m B75030040
STP straight connection cable, 5m B75030010
EDwards STPA2203C 對應(yīng)的分子泵電源為Edwards SCU1400， Edwards SCU1500, Edwards SCU2203, Edwards STP-A2203PV
Edwards STP Magnetically Levitated Turbomolecular Pumps
Edwards STPA2203C Turbomolecular Vacuum Pump
Edwards STPA2203C is a new turbomolecular pump designed for use in semiconductor
applications. It has advanced rotor technology that gives class-leading performance for
maximum process flexibility. A new half rack controller gives additional space savings and
incorporates d.c. drive technology for battery-free operation. The STPA2203C has been
approved for use by major etch, ion implant and deposition equipment manufacturers in the
semiconductor and magnetic media industries
（Boc Edwards）是英國老牌真空設(shè)備供應(yīng)商，Edwards 是全球最大的真空設(shè)備供應(yīng)商， 在工業(yè)、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用。日本Seiko Seiki STP系列磁懸浮分子泵1983年在全世界范圍內(nèi)開始廣泛銷售，其磁懸浮分子泵在世界上處于領(lǐng)導(dǎo)的地位。Edwards收購了日本精工，進(jìn)一步確定了自己在IC Fab，TFT,OLED及Harddisk等生產(chǎn)領(lǐng)域的地位等分子泵。
Edwards STP-H300C, Edwards STP-H200C, Edwards STP-H600C, Edwards STP-H1000C, Edwards STP-H2000C磁懸浮分子泵都是英國愛德華第一代五軸磁懸浮分子泵，下圖中的Edwards STP-300c五軸磁懸浮分子泵生產(chǎn)年份為1996年
中山共享光電獲得日本精工磁懸浮分子泵的全部圖紙，掌握其全系列的維修技術(shù)，在磁懸浮領(lǐng)域擁有完全產(chǎn)權(quán)的國家**，也是國內(nèi)**同時(shí)掌握歐系和日系兩種磁懸浮技術(shù)的公司。我們將為中國的客戶提供**的服務(wù)，合適的價(jià)格，最快的交貨期。
Edwards STPA2203C( EDwards STP-A2203C)磁懸浮分子泵渦輪轉(zhuǎn)子:
中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修英國愛德華五軸磁懸浮分子泵，型號包含：Edwards STP 301 STP 451 STP 603 STP 1003 STP 301C STP 451C STP 603C STP 1003C
愛德華Ultra High Vacuum Range分子泵
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 301磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP301磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 301C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP 301C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 451磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP451磁懸浮分子泵維修
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中山共享專業(yè)維修Edwards STP 603磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP603磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 603C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP 603C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 1003磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP1003磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 1003C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP 1003C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards 1003，其中的STP不帶任何后綴的含義為：Ultra high vacuum Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式
英國愛德華真空對STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
STP H301C STP H451CSTP H803C STP H1303C Edwards High Throughput Range磁懸浮分子泵
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H301磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH301磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H301C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH301C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H451磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH451磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H451C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH451C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H803磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH803磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H803C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH803C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H1303磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH1303磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H1303C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH1303C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPH1303，其中的H的含義為：High Throughput Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
Edwards STP A803C STP A1303C STP A1603C STP A2203C STP A2503C STP A3003C STP A3503C
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A803磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA803磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A803C磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA803C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1303磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1303磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1303c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1603磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1603磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1603c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2203磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2203磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2203c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2203C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2503磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2503磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2503c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2503C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A3003磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA3003磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A3503c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA3503C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPA2203，其中的A的含義為：Advantage Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
Edwards STPA2203C磁懸浮分子泵維修的實(shí)測照片，對應(yīng)分子泵控制器為Edwards SCU1500:
在上圖 BOC Edwards STP Control unit STP-A803C 控制器的照片中，我們可以看到Edwards STPA803C－STPA1603C磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)速為2700rpm
Edwards STPA2203C五軸磁懸浮分子泵對應(yīng)的技術(shù)指標(biāo)如下：
EDwards STPA2203C 整體圖：
Felight Vacuum System Co.,LTD 專心從事Edwards STP-A2203C 磁懸浮分子泵維修。我司針對的BOC Edwards STPA2203C磁懸浮分子泵維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進(jìn)口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達(dá)線圈阻值測量,轉(zhuǎn)子定子間隙測量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.１6標(biāo)準(zhǔn)
＊測試0-36000rpm啟動時(shí)間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10-7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時(shí)
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-2700rpm全轉(zhuǎn)速動平衡分析及校準(zhǔn)
＊Pfeiffer HLT560氦質(zhì)譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
渦輪分子泵維修是件非常專業(yè)細(xì)致的工作，專心專業(yè)的中山共享人，本著全心全意的精神，為客戶提供盡善盡美的服務(wù)。中山共享專業(yè)從事英國愛德華磁懸浮分子泵維修，能維修的磁懸浮分子泵型號有：
Edwards STP301--- Edwards STP301C
Edwards STPH301C--- Edwards STPH301C
Edwards STP451 ---Edwards STP451C
Edwards STPH451C ---Edwards STPH451C
Edwards STP603 ----Edwards STP603C
Edwards STP1003----Edwards STP1003C
Edwards STPH301---Edwards STPH301C
Edwards STPH451---Edwards STPH451C
Edwards STPH803---Edwards STPH803C
Edwards STPH1303---Edwards STPH1303C
Edwards STPH600---Edwards STPH600C
Edwards STPH1000---Edwards STPH1000C
Edwards STP1000—Edwards STP1000C
Edwards STP1003—Edwards STP1003C
Edwards STPH1000C—Edwards STP1000C
Edwards STPiX455
Edwards STPiX1605
Edwards STPiX2205
Edwards STPL301---Edwards STPL301
Edwards STPL451----Edwards STPL451C
Edwards STPA803----Edwards STPA803C
Edwards STPH803----Edwards STPH803C
Edwards STPA1303---Edwards STPA1303C
Edwards STP1303C---Edwards STP1303C
Edwards STPH1301L---Edwards STPH1301L
Edwards STPH1303CV2---Edwards STPH1303CV2
Edwards STPH1303C---Edwards STPH1303C
Edwards STPA1603---Edwards STPA1603C
Edwards STPA2203---Edwards STPA2203C
Edwards STPA2203CV---Edwards STPA2203CV
Edwards STPA2203PV---Edwards STPA2203PV
Edwards STPA2503----Edwards STPA2503C
Edwards STPA3003----Edwards STPA3503C
Edwards STPA2803----Edwards STPA2803C
Edwards STPA3503---Edwards STPA3503C
Edwards STPF2203-------STPF2203C
Edwards STPXH2603P---Edwards STPXH3203P
Edwards STPXA2703C------- Edwards STPXA2703C
Edwards STPXA3203C------- Edwards STPXA3203C
Edwards STPXA4503C------- Edwards STPXA4503C
Edwards STP200------ Edwards STPH200
Edwards STP200C------ Edwards STPH200C
Edwards STPH2000C------ Edwards STPH2000C
Edwards STP2001------ Edwards STP2001C
Edwards STPH2001------ Edwards STPH2001C
Edwards STPH2001C------ Edwards STPH2001C
Edwards STPH2002C------ Edwards STPH2002C
Edwards STPA2002C------ Edwards STPA2002C
Edwards STP300------ Edwards STP300H
Edwards STP301CVB------ EdwardsCVB3
Edwards STPH300------ Edwards STPH300C
Edwards STP400----- Edwards STP400C
Edwards STP600C----- Edwards STPH600C
Edwards STPH751E------ Edwards STPH751E
Edwards STP-A2203有幾種不同的規(guī)格，其中部分是定制的，如：
Edwards STP-A2203PV
Customer : for DPS-Poly (AMAT)
TMS : 65 deg-C (TMS set point)
with TMS connection box
Cooling water port : Swagelok 1/4”
with TMS valve
Purge port : VCR 1/4” female
Flange : ISO 250
Thermocouple: Included
Water valve : incuded
TMS : Red heater band
Edwards STP-A2203LVS
Customer : for LAM Versys
With communication port LON WORKS
(control unit)
Cooling water port :reverse direction for purge
TMS : 60 deg-C (Standard)
with TMS valve type 2ports valve
(standard used 3ports valve)
Pump : VE-type pump (P041-999)
TMS: 10 hole screw mounted metal type
Flange: ISO250
Thermocouple: Not included
聯(lián)系人：
徐中武 Mobile：13602726044/ 18933311537
Tel:86-760-88589636 Fax:86-760-88589689
地址:中山市火炬開發(fā)區(qū)興業(yè)路實(shí)訓(xùn)樓1棟5樓
中山共享光電真空技術(shù)有限公司
Felight Vacuum System Co.,LTD
Address:Floor 5, Building 1,Xingye Road, Torch Zone, Zhongshan City,Guangdong Province,China
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生產(chǎn)行業(yè)，平板及光電顯示器行業(yè)，分析儀器及科研行業(yè)提供上等的Edwards STPA2203C
磁懸浮分子泵維修服務(wù)。
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