圖片中的是BOC EDWARD STPA1603分子泵 同edwards stpA1603C, 中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修英國(guó)愛(ài)德華五軸磁懸浮分子泵
Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵維修: BOC Edwards STPA1603C的規(guī)格即訂貨號(hào)如下：
Edwards STPA1603訂貨信息：
STPA1603C ISO200F Inlet B75100010
STPA1603C DN200CF Inlet B75100100
STPA1603CV TMS ISO200F Inlet YT4616004
STPA1603CV TMS DN200CF Inlet YT4616005
Accessories & Spares Order No.
Power Cable 10m PT49Y0A01
Power Cable 5m PT49Y0A00
SCU-800 Control unit YT49Z2Z00
STP straight connection cable ,10m B75130060
STP straight connection Cable, 5m B75130020
EDwards STPA1603C 對(duì)應(yīng)的分子泵電源為Edwards SCU800， Edwards SCU750, Edwards SCU1603
Edwards STP Magnetically Levitated Turbomolecular Pumps
Edwards STPA1603C Turbomolecular Vacuum Pump
The small and powerful Edwards STPA1603C turbo-molecular pump has been designed
using Edwards advanced rotor technology. This provides high throughput, maximum
reliability and class leading performance which is demanded by the latest generation of
semiconductor processes. Its half rack controller and compact design provide considerable
space saving, whilst its advanced deposition reduction system gives improved reliability and
performance. The STPA1603C has been qualified on the latest 200 mm etch tools as well
as on new generation 300 mm oxide etch processes.
（Boc Edwards）是英國(guó)老牌真空設(shè)備供應(yīng)商，Edwards 是全球最大的真空設(shè)備供應(yīng)商， 在工業(yè)、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用。日本Seiko Seiki STP系列磁懸浮分子泵1983年在全世界范圍內(nèi)開始廣泛銷售，其磁懸浮分子泵在世界上處于領(lǐng)導(dǎo)的地位。Edwards收購(gòu)了日本精工，進(jìn)一步確定了自己在IC Fab，TFT,OLED及Harddisk等生產(chǎn)領(lǐng)域的地位等分子泵。
Edwards STP-H300C, Edwards STP-H200C, Edwards STP-H600C, Edwards STP-H1000C, Edwards STP-H2000C磁懸浮分子泵都是英國(guó)愛(ài)德華第一代五軸磁懸浮分子泵，下圖中的Edwards STP-300c五軸磁懸浮分子泵生產(chǎn)年份為1996年
中山共享光電獲得日本精工磁懸浮分子泵的全部圖紙，掌握其全系列的維修技術(shù)，在磁懸浮領(lǐng)域擁有完全產(chǎn)權(quán)的國(guó)家**，也是國(guó)內(nèi)**同時(shí)掌握歐系和日系兩種磁懸浮技術(shù)的公司。我們將為中國(guó)的客戶提供**的服務(wù)，合適的價(jià)格，最快的交貨期。
Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵渦輪轉(zhuǎn)子：
Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵維修對(duì)應(yīng)定子組圖片：
中山共享光電真空技術(shù)有限公司專業(yè)維修英國(guó)愛(ài)德華五軸磁懸浮分子泵，型號(hào)包含：Edwards STP 301 STP 451 STP 603 STP 1003 STP 301C STP 451C STP 603C STP 1003C愛(ài)德華Ultra High Vacuum Range分子泵
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 301磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP301磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 301C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP 301C磁懸浮分子泵維修
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中山共享專業(yè)維修Edwards STP 603磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP603磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 603C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP 603C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 1003磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP1003磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 1003C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP 1003C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards 1003，其中的STP不帶任何后綴的含義為：Ultra high vacuum Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式
英國(guó)愛(ài)德華真空對(duì)STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
STP H301C STP H451CSTP H803C STP H1303C Edwards High Throughput Range磁懸浮分子泵
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H301磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH301磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H301C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH301C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H451磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH451磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H451C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH451C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H803磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH803磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H803C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH803C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H1303磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH1303磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-H1303C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STPH1303C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPH1303，其中的H的含義為：High Throughput Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage
英國(guó)愛(ài)德華真空對(duì)STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
Edwards STP A803C STP A1303C STP A1603C STP A2203C STP A2503C STP A3003C STP A3503C
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A803磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA803磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A803C磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA803C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1303磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1303磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1303c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1603磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1603磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A1603c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2203磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2203磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2203c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2203C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2503磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2503磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2503c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2503C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A3003磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA3003磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A3503c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA3503C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPA2203，其中的A的含義為：Advantage Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英國(guó)愛(ài)德華真空對(duì)STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵維修的實(shí)測(cè)照片，對(duì)應(yīng)分子泵控制器為Edwards STP-A803C, Edwards SCU803C,或Edwards SCU750， SCU800:
在上圖 BOC Edwards STP Control unit STP-A803C 控制器的照片中，我們可以看到Edwards STPA803C－STPA1603C磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)速為36500rpm
Edwards STPA1603C五軸磁懸浮分子泵對(duì)應(yīng)的技術(shù)指標(biāo)如下：
EDwards STPA1603C 整體圖：
Felight Vacuum System Co.,LTD 專心從事Edwards STP-A1603C 磁懸浮分子泵維修。我司針對(duì)的BOC Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進(jìn)口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達(dá)線圈阻值測(cè)量,轉(zhuǎn)子定子間隙測(cè)量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測(cè)試動(dòng)平衡至Ｇ0.１6標(biāo)準(zhǔn)
＊測(cè)試0-36000rpm啟動(dòng)時(shí)間<3分鐘
*測(cè)試極限真空值<1.0*10-7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試24小時(shí)
＊0-20KHz震動(dòng)頻譜加速度分析
＊6000-36500rpm全轉(zhuǎn)速動(dòng)平衡分析及校準(zhǔn)
＊Pfeiffer HLT560氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
渦輪分子泵維修是件非常專業(yè)細(xì)致的工作，專心專業(yè)的中山共享人，本著全心全意的精神，為客戶提供盡善盡美的服務(wù)。中山共享專業(yè)從事英國(guó)愛(ài)德華磁懸浮分子泵維修，能維修的磁懸浮分子泵型號(hào)有：
Edwards STP301--- Edwards STP301C
Edwards STPH301C--- Edwards STPH301C
Edwards STP451 ---Edwards STP451C
Edwards STPH451C ---Edwards STPH451C
Edwards STP603 ----Edwards STP603C
Edwards STP1003----Edwards STP1003C
Edwards STPH301---Edwards STPH301C
Edwards STPH451---Edwards STPH451C
Edwards STPH803---Edwards STPH803C
Edwards STPH1303---Edwards STPH1303C
Edwards STPH600---Edwards STPH600C
Edwards STPH1000---Edwards STPH1000C
Edwards STP1000—Edwards STP1000C
Edwards STP1003—Edwards STP1003C
Edwards STPH1000C—Edwards STP1000C
Edwards STPiX455
Edwards STPiX1605
Edwards STPiX2205
Edwards STPL301---Edwards STPL301
Edwards STPL451----Edwards STPL451C
Edwards STPA803----Edwards STPA803C
Edwards STPH803----Edwards STPH803C
Edwards STPA1303---Edwards STPA1303C
Edwards STP1303C---Edwards STP1303C
Edwards STPH1301L---Edwards STPH1301L
Edwards STPH1303CV2---Edwards STPH1303CV2
Edwards STPH1303C---Edwards STPH1303C
Edwards STPA1603---Edwards STPA1603C
Edwards STPA2203---Edwards STPA2203C
Edwards STPA2203CV---Edwards STPA2203CV
Edwards STPA2203PV---Edwards STPA2203PV
Edwards STPA2503----Edwards STPA2503C
Edwards STPA3003----Edwards STPA3503C
Edwards STPA2803----Edwards STPA2803C
Edwards STPA3503---Edwards STPA3503C
Edwards STPF2203-------STPF2203C
Edwards STPXH2603P---Edwards STPXH3203P
Edwards STPXA2703C------- Edwards STPXA2703C
Edwards STPXA3203C------- Edwards STPXA3203C
Edwards STPXA4503C------- Edwards STPXA4503C
Edwards STP200------ Edwards STPH200
Edwards STP200C------ Edwards STPH200C
Edwards STPH2000C------ Edwards STPH2000C
Edwards STP2001------ Edwards STP2001C
Edwards STPH2001------ Edwards STPH2001C
Edwards STPH2001C------ Edwards STPH2001C
Edwards STPH2002C------ Edwards STPH2002C
Edwards STPA2002C------ Edwards STPA2002C
Edwards STP300------ Edwards STP300H
Edwards STP301CVB------ EdwardsCVB3
Edwards STPH300------ Edwards STPH300C
Edwards STP400----- Edwards STP400C
Edwards STP600C----- Edwards STPH600C
Edwards STPH751E------ Edwards STPH751E
有任何需要BOC Edwards STPA1603C磁懸浮分子泵維修-愛(ài)德華磁懸浮真空分子泵的，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系我們：
聯(lián)系人：
徐中武 Mobile：13602726044/ 18933311537
Tel:86-760-88589636 Fax:86-760-88589689
地址:中山市火炬開發(fā)區(qū)興業(yè)路實(shí)訓(xùn)樓1棟5樓
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Address:Floor 5, Building 1,Xingye Road, Torch Zone, Zhongshan City,Guangdong Province,China
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磁懸浮分子泵維修服務(wù)。
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