圖片中的是BOC EDWARD STPA1303分子泵 同edwards stpA1303C,
中山共享光電真空技術有限公司專業(yè)維修英國愛德華五軸磁懸浮分子泵
Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵維修: BOC Edwards STPA1303C的規(guī)格即訂貨號如下：
Edwards STPA1303訂貨信息：
Edwards STPA1303C ISO200F Inlet B71802020
Edwards STPA1303C DN200CF Inlet YT36B0030
Edwards STPA1303C TMS ISO200F Inlet YT3626005
Edwards STPA1303C TMS DN200CF Inlet YT3626004
Accessories & Spares Order No.
Edwards Connection Cable 3m B75130050
Edwards Power Cable 10m PT49Y0A01
Power Cable 5m PT49Y0A00
Edwards SCU-800 Control unit YT49Z2Z00
Edwards STP straight connection cable ,10m B75130060
Edwards STP straight connection Cable, 5m B75130020
Edwards STPA1303C Turbomolecular Vacuum Pump YT3626005
Edwards STPA1303C Turbomolecular Vacuum Pump YT3626004
Edwards TMS Connection Cable Kit PT330V000
Edwards TMS Connection Cable Kit PT330V001
Edwards TMS Connection Cable Kit PT330V002
EDwards STPA1003C 對應的分子泵電源為Edwards SCU800， Edwards SCU750
Edwards STPA1303C 是為半導體應用而設計的渦輪分子泵。Edwards 的先進轉(zhuǎn)子技術可實現(xiàn)**的性能和最大的制程靈活性。STPA1303C 已經(jīng)由半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型設備制造商投入使用，并得到了認可.
Edwards STPA1303 大量應用于：
金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點站
MBE
擴散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負載鎖真空腔
科學儀器：表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應用：融合系統(tǒng)、回旋
Edwards STP Magnetically Levitated Turbomolecular Pumps
Edwards STPA1303C Turbomolecular Vacuum Pump
Edwards STPA1303C is a turbomolecular pump designed for use in semiconductor
applications. Edwards advanced rotor technology gives class-leading performance for
maximum process flexibility. The STPA1303C has been approved for use by major
equipment manufacturers in the semiconductor and magnetic media industries
（Boc Edwards）是英國老牌真空設備供應商，Edwards 是全球最大的真空設備供應商， 在工業(yè)、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應用。日本Seiko Seiki STP系列磁懸浮分子泵1983年在全世界范圍內(nèi)開始廣泛銷售，其磁懸浮分子泵在世界上處于領導的地位。Edwards收購了日本精工，進一步確定了自己在IC Fab，TFT,OLED及Harddisk等生產(chǎn)領域的地位等分子泵。
Edwards STP-H300C, Edwards STP-H200C, Edwards STP-H600C, Edwards STP-H1000C, Edwards STP-H2000C磁懸浮分子泵都是英國愛德華第一代五軸磁懸浮分子泵，下圖中的Edwards STP-300c五軸磁懸浮分子泵生產(chǎn)年份為1996年
中山共享光電獲得日本精工磁懸浮分子泵的全部圖紙，掌握其全系列的維修技術，在磁懸浮領域擁有完全產(chǎn)權的國家**，也是國內(nèi)**同時掌握歐系和日系兩種磁懸浮技術的公司。我們將為中國的客戶提供**的服務，合適的價格，最快的交貨期。
Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵渦輪轉(zhuǎn)子與STPH1000C真空分子泵轉(zhuǎn)子對比圖：
圖片中，左面的為STPA1303, 右面的為Seiko STPH1000C（Edwards STPH1000C）
Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵維修對應定子組圖片：
中山共享光電真空技術有限公司專業(yè)維修英國愛德華五軸磁懸浮分子泵，型號包含：Edwards STP 301 STP 451 STP 603 STP 1003 STP 301C STP 451C STP 603C STP 1003C
愛德華Ultra High Vacuum Range分子泵
中山共享專業(yè)維修Edwards STP 301磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP301磁懸浮分子泵維修
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中山共享專業(yè)維修Edwards STP 1003C磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP 1003C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards 1003，其中的STP不帶任何后綴的含義為：Ultra high vacuum Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式
英國愛德華真空對STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
STP H301C STP H451CSTP H803C STP H1303C Edwards High Throughput Range磁懸浮分子泵
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Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPH1303，其中的H的含義為：High Throughput Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
Edwards STP A803C STP A1303C STP A1603C STP A2203C STP A2503C STP A3003C STP A3503C
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A803磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA803磁懸浮分子泵維修
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中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2203磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2203磁懸浮分子泵維修
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中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A2503c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA2503C磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A3003磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA3003磁懸浮分子泵維修
中山共享專業(yè)維修Edwards STP-A3503c磁懸浮分子泵，從事Edwards STPA3503C磁懸浮分子泵維修
Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPA2203，其中的A的含義為：Advantage Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵維修的實測照片，對應分子泵控制器為Edwards STP-A803C, Edwards SCU803C,或Edwards SCU750， SCU800
在上圖 BOC Edwards STP Control unit STP-A803C 控制器的照片中，我們可以看到Edwards STPA803C－STPA1303C磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)速為32500rpm
Edwards STPA1303C五軸磁懸浮分子泵對應的技術指標如下：
Felight Vacuum System Co.,LTD 專心從事Edwards STP-A1303C 磁懸浮分子泵維修。我司針對的BOC Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉(zhuǎn)子定子間隙測量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-36000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10-7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-32500rpm全轉(zhuǎn)速動平衡分析及校準
＊Pfeiffer HLT560氦質(zhì)譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
渦輪分子泵維修是件非常專業(yè)細致的工作，專心專業(yè)的中山共享人，本著全心全意的精神，為客戶提供盡善盡美的服務。中山共享專業(yè)從事英國愛德華磁懸浮分子泵維修，能維修的磁懸浮分子泵型號有：
Edwards STP301--- Edwards STP301C
Edwards STPH301C--- Edwards STPH301C
Edwards STP451 ---Edwards STP451C
Edwards STPH451C ---Edwards STPH451C
Edwards STP603 ----Edwards STP603C
Edwards STP1003----Edwards STP1003C
Edwards STPH301---Edwards STPH301C
Edwards STPH451---Edwards STPH451C
Edwards STPH803---Edwards STPH803C
Edwards STPH1303---Edwards STPH1303C
Edwards STPH600---Edwards STPH600C
Edwards STPH1000---Edwards STPH1000C
Edwards STP1000—Edwards STP1000C
Edwards STP1003—Edwards STP1003C
Edwards STPH1000C—Edwards STP1000C
Edwards STPiX455
Edwards STPiX1605
Edwards STPiX2205
Edwards STPL301---Edwards STPL301
Edwards STPL451----Edwards STPL451C
Edwards STPA803----Edwards STPA803C
Edwards STPH803----Edwards STPH803C
Edwards STPA1303---Edwards STPA1303C
Edwards STP1303C---Edwards STP1303C
Edwards STPH1301L---Edwards STPH1301L
Edwards STPH1303CV2---Edwards STPH1303CV2
Edwards STPH1303C---Edwards STPH1303C
Edwards STPA1603---Edwards STPA1603C
Edwards STPA2203---Edwards STPA2203C
Edwards STPA2203CV---Edwards STPA2203CV
Edwards STPA2203PV---Edwards STPA2203PV
Edwards STPA2503----Edwards STPA2503C
Edwards STPA3003----Edwards STPA3503C
Edwards STPA2803----Edwards STPA2803C
Edwards STPA3503---Edwards STPA3503C
Edwards STPF2203-------STPF2203C
Edwards STPXH2603P---Edwards STPXH3203P
Edwards STPXA2703C------- Edwards STPXA2703C
Edwards STPXA3203C------- Edwards STPXA3203C
Edwards STPXA4503C------- Edwards STPXA4503C
Edwards STP200------ Edwards STPH200
Edwards STP200C------ Edwards STPH200C
Edwards STPH2000C------ Edwards STPH2000C
Edwards STP2001------ Edwards STP2001C
Edwards STPH2001------ Edwards STPH2001C
Edwards STPH2001C------ Edwards STPH2001C
Edwards STPH2002C------ Edwards STPH2002C
Edwards STPA2002C------ Edwards STPA2002C
Edwards STP300------ Edwards STP300H
Edwards STP301CVB------ EdwardsCVB3
Edwards STPH300------ Edwards STPH300C
Edwards STP400----- Edwards STP400C
Edwards STP600C----- Edwards STPH600C
Edwards STPH751E------ Edwards STPH751E
有任何需要BOC Edwards STPA1303C磁懸浮分子泵維修-愛德華磁懸浮真空分子泵的，
請隨時聯(lián)絡我們，聯(lián)系人：
徐中武 Mobile：13602726044/ 18933311537
Tel:86-760-88589636 Fax:86-760-88589689
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