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產(chǎn)品資料

Edwards STP301C磁懸浮分子泵維修

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: Edwards STP301C磁懸浮分子泵維修
產(chǎn)品型號: Edwards STP301
產(chǎn)品展商: EDWARDS
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簡單介紹

Edwards STP301C磁懸浮分子泵維修－中山共享光電真空技術(shù)有限公司， Edwards STP301磁懸浮分子泵對應(yīng)的訂貨號如下： Edwards STP301 ISO100 Inlet KF25 Outlet B74830020 Edwards STP301 DN100CF Inlet B74831010


Edwards STP301C磁懸浮分子泵維修  的詳細介紹
BOC Edwards STP301C 磁懸浮分子泵維修－中山共享光電真空技術(shù)有限公司
Edwards STP301 Turbomolecular Vacuum Pump對應(yīng)的訂貨號為：
Edwards STP301 ISO100 Inlet KF25 Outlet B74830020
對應(yīng)的圖片：
Edwards STP301 DN100CF Inlet B74831010
Edwards STP301C ISO100 inlet KF25 outlet B74871000
Edwards STP301C ISO100 Inlet B74871010
Edwards STP301C ISO100 inlet KF40 outlet B74872000
Edwards STP301C DN100CF Inlet B74881010
Edwards STP301對應(yīng)的備件訂貨號為：
Edwards STP straight connection cable, 5m B70700000
Edwards Connection cable, 12m PT21Y0B08
 Edwards STP straight connection cable, 3m B70700010
Edwards STP301磁懸浮分子泵用途為：
Plasma etch (chlorine, fluorine and bromine chemistries) for
metal (aluminum), tungsten and dielectric (oxide) and polysilicon
Electron cyclotron resonance (ECR) etch
Film deposition CVD, PECVD, ECRCVD, MOCVD
Sputtering
Ion implantation source, beam line pumping end station


BOC Edwards STP 301  STP 451  STP 603  STP 1003 STP 301C  STP 451C STP 603C  STP 1003C

愛德華Ultra High Vacuum Range分子泵

中山共享專業(yè)維修Edwards STP 301磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP301磁懸浮分子泵維修

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中山共享專業(yè)維修Edwards STP 451磁懸浮分子泵，專業(yè)從事Edwards STP451磁懸浮分子泵維修


上圖中，大的就是Edawrds STP451磁懸浮分子泵的轉(zhuǎn)子，小的為Edwards EXT75DX復合分子泵的轉(zhuǎn)子，做對比用
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Edwards STP301C磁懸浮分子泵的技術(shù)特性及機械尺寸圖
BOC Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards 1003，其中的STP不帶任何后綴的含義為：Ultra high vacuum Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用3軸控制模式

 英國愛德華真空對STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：

Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.

A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.

   The pumps in red have 3 axis bearings.

These pumps usually require a lower backing pressure.

 

STP H301C  STP H451C STP H803C  STP H1303C  Edwards High Throughput Range分子泵

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Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPH1303，其中的H的含義為：High Throughput Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用High Throughput Holweck Stage

 英國愛德華真空對STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：

Commonly used on 200mm Etch Machines.

The original High Throughput range.

They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.

All are 5 axis bearings.

 

Edwards STP A803C  STP A1303C STP A1603C  STP A2203C STP A2503C STP A3003C  STP A3503C

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Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPA2203，其中的A的含義為：Advantage Range，其內(nèi)部磁懸浮轉(zhuǎn)子采用Advanced  High Throughput Holweck Stage

 英國愛德華真空對STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：

Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.

Advanced rotor designs and materials:

Gives a higher performance from a similar sized pump.

The rotors have 3D geometry improving their performance.

The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.

Felight Vacuum System Co.,LTD 專心從事BOC Edwards STP-301C 磁懸浮分子泵維修。我司針對的BOC Edwards STP-301C 磁懸浮分子泵維修保養(yǎng)內(nèi)容如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達線圈阻值測量,轉(zhuǎn)子定子間隙測量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測試動平衡至Ｇ0.１6標準
＊測試0-48000rpm啟動時間<3分鐘
*測試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場測試24小時
＊0-20KHz震動頻譜加速度分析
＊6000-48000rpm全轉(zhuǎn)速動平衡分析及校準
＊Pfeiffer HLT560氦質(zhì)譜檢漏儀測試分子泵的滲漏率小于2.0*10-9mbar*L/s
 
渦輪分子泵維修是件非常專業(yè)細致的工作，專心專業(yè)的中山共享人，本著全心全意的精神，為客戶
提供盡善盡美的服務(wù)。中山共享從事渦輪分子泵維修已6個年頭，但卻沒有專門的業(yè)務(wù)人員，
也無意去招聘業(yè)務(wù)人員，我們的非常多的顧客都是原有的客戶幫我們介紹的，在此中山共享
光電真空技術(shù)有限公司全體同仁，對支持幫助過我們的朋友表示萬分的感謝
 
有任何需要BOC Edwards STP301C 磁懸浮分子泵維修服務(wù)的，請隨時聯(lián)系我們：
聯(lián)系人：
徐中武       Mobile：13602726044/ 18933311537
Tel:86-760-88589636  Fax:86-760-88589689 
地址:中山市火炬開發(fā)區(qū)興業(yè)路實訓樓1棟5樓 
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Address:Floor 5, Building 1,Xingye Road, Torch Zone, Zhongshan City,Guangdong Province,China
 
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Email：leybold@vip.126.com         [email protected]
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磁懸浮分子泵維修服務(wù)。
 

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