Varian TV 801 Navigator Bolted Flange最大的特色是對(duì)小分子氣體的超大抽速，
對(duì)應(yīng)氫氣的抽速為850L/S ，該項(xiàng)指標(biāo)讓全世界的所有其他品牌分子泵望塵不及。
參數(shù).png)
Varian TV1001 的渦輪轉(zhuǎn)子采用Varian**的“MacroTorr”技術(shù)設(shè)計(jì)加工而成，整個(gè)渦輪轉(zhuǎn)子整體成型，共有由11層葉片組成，前七層為標(biāo)準(zhǔn)葉片，每層的角度從高到低，后四層為Varian **技術(shù)的“Macrotorr”碟片組成，渦輪轉(zhuǎn)子其在分子泵內(nèi)部以38000轉(zhuǎn)／分鐘的速度高速旋轉(zhuǎn)。
Varian TV 801 Navigator Bolted Flange分子泵的機(jī)械結(jié)構(gòu)圖如下：
械圖.png)
中山共享光電真空技術(shù)有限公司針對(duì)Varian TV801 Navigator分子泵維修的步驟
如下：
＊超聲波**清洗轉(zhuǎn)/定子葉片及腔體并烘干
＊更換了全套原裝進(jìn)口陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品
＊馬達(dá)線圈阻值測(cè)量,轉(zhuǎn)子定子間隙測(cè)量
＊根據(jù)ISO1940/1& ANSI S2.19,調(diào)整測(cè)試動(dòng)平衡至Ｇ0.１6標(biāo)準(zhǔn)
＊測(cè)試0-38000rpm啟動(dòng)時(shí)間<3分鐘
*測(cè)試極限真空值<1.0*10－7mbar
*持續(xù)模擬生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試24小時(shí)
＊0-20KHz震動(dòng)頻譜加速度分析
＊6000-380000rpm全轉(zhuǎn)速動(dòng)平衡分析及校準(zhǔn)
我司可以維修的Varian turbo pump的型號(hào)有：
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