意大利瓦里安： Varian-Agilent
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STP451C ，STP603C STP1003C等磁懸浮分子泵維修：
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等Ultra High Vacuum Range分子泵維修
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Edwards STP1003三軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards 1003，其中的STP不帶任何后綴的含義為：Ultra high vacuum Range，其內部磁懸浮轉子采用3軸控制模式
英國愛德華真空對STP系列三軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used for CD SEM machines, Implanter, Beamlines, Mass Spectrometers, and other particle acceleration devices.
A pure rotor bladed pump (No Holweck stage) this generates a very high ultimate vacuum at the expense of some throughput.
The pumps in red have 3 axis bearings.
These pumps usually require a lower backing pressure.
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Edwards STP-H1303五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPH1303，其中的H的含義為：High Throughput Range，其內部磁懸浮轉子采用High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-H系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Commonly used on 200mm Etch Machines.
The original High Throughput range.
They incorporate a Holweck drag stage which enhances the Throughput at the expense of ultimate vacuum.
All are 5 axis bearings.
STP A803C • STP A1303C • STP A1603C • STP A2203C STP A2503C • STP A3003C • STP A3503C
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Edwards STP-A2203五軸磁懸浮分子泵，有人稱之為Edwards STPA2203，其中的A的含義為：Advantage Range，其內部磁懸浮轉子采用Advanced High Throughput Holweck Stage
英國愛德華真空對STP-A系列五軸磁懸浮分子泵的描述的原文如下：
Used on new generation 300mm Etch platforms and flat panel display tools.
Advanced rotor designs and materials:
Gives a higher performance from a similar sized pump.
The rotors have 3D geometry improving their performance.
The Holweck stage has been redesigned with the blading on the rotor rather than the stator, this improves Throughput.
徐中武 Mobile：13602726044/ 18933311537
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