方式的直流脈沖電，來供應(yīng)分子泵的線圈，控制對應(yīng)的頻率，來控制分子泵的轉(zhuǎn)速，
Pfeiffer TCP 015分子泵電源，輸出頻率為1500Hz，所以能將分子泵轉(zhuǎn)到90000rpm
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